光学膜厚测量仪

发布时间： 2016-05-31

Filmetrics公司F50-EXR膜厚测量仪利用反射干涉的原理进行无损测量，可测量薄膜厚度及光学常数，其应用广泛，所有光滑的透明和半透明非金属膜层都可以测量，如：二氧化硅膜、光刻胶、氮化硅类金刚石镀膜、聚合物膜层、聚酰亚胺膜、多晶硅、非晶硅等。

技术优势：

实现从点测量到面测量的飞跃
测量结果通过图像形象的表达
数秒内即可得出测量结果
实现任意数量点的测量

仪器展示：

测试服务：

项目	价格
测量薄膜厚度及光学常数	50元/样

成果展示：

自然科学基金-纳米结构新型界面载体强化油水两相酶催化反应的研究

联系人：刘丽丽
Email：llliu@ipe.ac.cn 联系电话：13521602967
联系地址：中国科学院过程工程研究所生化科研楼510室

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